建設(shè)地點(diǎn)：甕安縣磷化工工業(yè)集聚區(qū)

建設(shè)規(guī)模：年產(chǎn)2萬噸電子級磷酸

預(yù)期投資：3500萬元

項(xiàng)目簡介：

近年由于IT工業(yè)和液晶顯示電視迅速發(fā)展，用于半導(dǎo)體、液晶顯示器及其它電子設(shè)備作蝕刻劑的電子級磷酸需求增長強(qiáng)勁。為了能充分利用我縣豐富的磷礦資源，將我縣資源優(yōu)勢轉(zhuǎn)化為經(jīng)濟(jì)增長優(yōu)勢，在我縣實(shí)施該項(xiàng)目非常必要。

電子級磷酸具有廣泛的用途，主要是：一用于基片在涂膠前的濕法清洗，即硅圓片在進(jìn)行工藝加工過程中，常常會被不同的雜質(zhì)所沾污，各種沾污可引起IC產(chǎn)率下降50％左右。為了獲得高質(zhì)量、高產(chǎn)率的集成電路芯片，必須去除各類沾污物。二是用于在光刻過程中的濕法蝕刻及最終的去膠，即指借助于化學(xué)反應(yīng)從硅圓片的表面去除固體物質(zhì)的過程。它可發(fā)生在全部硅圓片表面或局部未被掩膜保護(hù)的表面上，其結(jié)果是導(dǎo)致固體表面全部或局部的溶解。三是用于硅片本身制作過程中的清洗。另外，用作超高純試劑和光纖玻璃的原料等。